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工商時報【涂志豪╱台北報導】晶圓傳載設備廠家登(3680)受惠於光罩盒及晶圓傳送盒出貨進入旺季,11月合併營收1.75億元為今年單月營收新高,台南廠暨樹谷廠區產能滿載至年底,12月營收可望維持成長。另外家登布局多年的新一代極紫外光(EUV)光罩傳送盒G/GP Type已獲艾司摩爾(ASML)認證通過,隨台積電等國際大廠明年EUV技術進入量產,家登將全產能放量出貨,明年出貨量可望年增逾3倍。家登公告11月合併營收月增24.8%達1.75億元,為今年來單月營收新高,但與去年同期相較下滑約13.0%。家登表示,子公司吳江新創的10及11月營收衰退,導致合併營收低於去年同期,但半導體本業接單暢旺,台南廠暨樹谷廠區產能滿載至年底,而美中貿易戰讓大陸晶圓廠加快量產,家登陸續接獲急單,第4季業績展望樂觀。家登表示,為維持產線供貨順暢,家登台南廠暨樹谷廠區產能全數投產,機台稼動率達年度新高。在快速變化的半導體產業中,家登聚焦半導體載具產品並投資先進製程研發策略帶來顯著訂單效益,併同生產基地整合策略奏效,有效降低生產成本,提升營運效能,家登的半導體本業今年度整體營收可望創下新高。對於明年營運,家登看好EUV光罩傳送盒將進入出貨爆發期。事實上,EUV微影技術已經確定成為市場主流,台積電及三星都將在明年開始量產採用EUV技術的7奈米製程,且2020年之後的5奈米亦將有更多光罩層會採用EUV技術。家登新一代EUV光罩傳送盒G/GP Type同時獲得ASML認證通過,雙版本傳送盒可支援ASML的量產型EUV機台NXE:3400B機型及未來更先進機型。家登表示,看好明年半導體大廠開始採用EUV技術,家登光罩傳送盒可望放量出貨,目前產能供不應求,並積極擴產因應,對明年營運樂觀。家登耗時兩年與ASML合作開發的新版本EUV光罩傳送盒,鎖定為更高更嚴密的防污染、防缺陷性能。家登同時提供G-Type(無光罩護膜)及GP-Type(有光罩護膜)兩種版本,滿足客戶不同性能與規格要求。家登表示,為滿足全球大客戶3倍以上的訂單需求,家登樹谷廠及南科廠生產基地已做好全面量產準備,新增人員、機台及產品線均已到位,隨時可以提供全球大客戶由試產到量產的龐大需求。


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